真空炉常见的故障及排除方法

故障内容

故障可能的原因

故障排除的方法

绝缘电阻小于1Ω

①电极周围有碳纤维

②加热带电阻与炉体间有金属物

①清除碳纤维

②小心清除

①温度表FP21显示"HHHH"或者记录仪超温报警

②温度控制失灵

①热电偶断丝

②仪表故障

①焊接或更换热电偶

②检查仪表

达不到极限真空度或抽空时间太长

①真空系统故障

②炉体泄露

③真空规管损坏

①检查排除

②检查排除

③更换

温度升不上去

①SCR半导通

②加热元件虚接

①更换SRC

②检查并紧固

油淬零件表面不亮

①油脱气不彻底

②入油温度太高

①继续脱气

②工件如油温度不应超过900℃

气淬零件表面不亮

①气体不纯

②真空度太底

③有挥发出污染性尘埃

①确保氮气纯度应在99.995%或者99.999%

②检查真空系统,检查炉体是否漏气并排除

③清除

传送机构故障

①限位器失灵

②电机或减速器

①把限位装置协调好

②检修电机或减速器

真空阀开关失控

①压缩空气压力不足

②电磁换向阀不得电

③电磁换向阀损坏

①保证气压≥0.5MPa

②检查电器线路

③更换

旋片式真

空泵故障

①不能启动

②启动困难，压差阀未向泵内放气

③旋转方向反了

④运转不灵活

⑤抽气效率低

⑥达不到真空度

①检查热继电器保护是否跳脱

②手动盘车或检修压差阀

③更换电机三相中的二相接线

④按说明书维修

⑤油污染换1#泵油

⑥排除油污染，更换轴端密封；
打开气镇阀运转1-2小时

油扩散泵故障

• 泵油氧化变质或油量不足

• 泵过热，冷却不足

• 泵漏气

• 泵芯安装不正

• 加热器烧断

• 泵出口压强过高

①换油或补充油

②检查水压,保证流水畅通

③检查各泵口的密封情况

④正确安装泵芯

⑤更换

⑥检查前级泵是否正常管路有无漏气.

罗茨泵故障

①不能启动

②异常噪声

③达不到真空度

①检查热继电器保护是否跳脱

②检测转子动平衡；轴承偏摆或损坏,应调整或更换

③轴封损坏漏气应更换